解决方案
产品中心
联系我们
FJD-4208ASG-EX 防爆型 IPA 全自动超声波清洗机，整机防爆安全设计，配置防爆自动化控制系统与自动报警灭火系统，采用超纯水超声清洗、IPA 异丙醇精洗、风切热风干燥完整工艺，全自动机械手作业，适用于半导体金属靶材、背板、铝合金、铜合金等精密材料高洁净清洗。
设备结构组成
本设备主要由清洗槽、漂洗槽、IPA 槽、新能源干燥槽、进出料装置、运行机械手、上下抛动机构、自动气动门、自动报警灭火系统、整机架、全封闭罩、玻璃观察窗、操作面板与 PLC 人机界面、防爆自动化控制系统等部件组成。
上料 → 1# 超纯水超声波清洗 → 2# 超纯水超声波清洗风切 → 3#IPA 异丙醇精洗 → 4# 风切热风干燥 → 下料
适用于金属靶材和背板（半导体材料）清洗，可处理铝合金、铜合金、W（钨）、Ta（钽）、Ti（钛）、Nb（铌）、Mo（钼）等各类半导体材料，具体包括：
金属靶材：铝、铜、钛、镍、银等；
合金靶材：钛铝、镍铬、钴镍等；
陶瓷靶材：ITO（氧化铟锡）、AZO（铝掺杂氧化锌）等；
半导体靶材：硅、锗等。
整机防爆安全设计：配置防爆自动化控制系统与自动报警灭火系统，使用 IPA 异丙醇溶剂安全可靠，符合防爆安全生产标准；
超纯水 + IPA 双介质清洗：超纯水超声波预清洗去除颗粒杂质，IPA 异丙醇精洗深度去除有机物残留，清洗洁净度高；
全自动机械手作业：运行机械手自动转运工件，配合上下抛动机构，清洗均匀无死角，除上下料外全程无需人工干预；
风切 + 热风干燥：风切脱水配合热风干燥，工件表面无水渍残留，干燥彻底；
全封闭罩体 + 可视观察窗：整机全封闭结构，抑制溶剂挥发，配置玻璃观察窗便于监控清洗状态，运行安全稳定。
适用于金属靶材和背板（半导体材料）清洗，可处理铝合金、铜合金、W（钨）、Ta（钽）、Ti（钛）、Nb（铌）、Mo（钼）等各类半导体材料，具体包括：
金属靶材：铝、铜、钛、镍、银等；
合金靶材：钛铝、镍铬、钴镍等；
陶瓷靶材：ITO（氧化铟锡）、AZO（铝掺杂氧化锌）等；
半导体靶材：硅、锗等。
点击咨询
0755-2799-3344 188-2388-6863