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FJD-1000LXG二流体离心清洗机

富嘉达 FJD-1000LXG 二流体离心清洗机采用纯水 + 压缩空气二流体喷淋,全自动清洗漂洗离心烘干一体化,搭配 FFU 过滤与压力监测,适配晶圆、光学元件、氢能零部件微尘杂质精密清洗,多规格圆盘型号支持定制。

一、核心清洗优势

采用高纯纯水 + 压缩空气二流体喷淋方式,温和剥离工件表面微尘、颗粒杂质,无划伤风险,适配高精度敏感元器件。

二、整机标准配置

清洗旋转圆盘、密闭喷淋清洗腔、减震机构、二流体喷淋系统、离心甩干单元、智能控制系统、专用工装治具、FFU 洁净过滤系统、水压气压实时监测模块、移动机架;底部万向脚轮 + 支撑脚杯,转运定位便捷。

三、自动化作业流程

人工上下料→工件固定→一键启动→自动闭合可视密封门→二流体喷淋清洗→纯水漂洗→高速离心烘干→工序完成自动开门,清洗烘干全程无人干预。

四、适配清洗工件

半导体:Wafer 晶圆、Die、Sensor 芯片光电行业:LED 基板、光学敏感元器件新能源:汽车氢能精密零部件


采用高纯纯水 + 压缩空气二流体喷淋方式,温和剥离工件表面微尘、颗粒杂质,无划伤风险,适配高精度敏感元器件。

人工上下料→工件固定→一键启动→自动闭合可视密封门→二流体喷淋清洗→纯水漂洗→高速离心烘干→工序完成自动开门,清洗烘干全程无人干预。

适配清洗工件

半导体:Wafer 晶圆、Die、Sensor 芯片光电行业:LED 基板、光学敏感元器件新能源:汽车氢能精密零部件


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